目前，隨著航天、航空、軍工、核電、能源、化工等領域的不斷發展，
小型真空爐已成為常見的真空加熱設備。它利用真空系統排出爐腔內的部分物質，使爐腔內的壓力低于標準大氣壓，達到真空狀態。小型真空爐的真空系統一般由真空泵，真空閥門，測量儀器，管道等組成。它的真空度一般分為三類：
真空度低：一般采用機械泵作為主泵，真空度為1×105~3×103Pa。
中真空：真空爐一般由兩級真空泵組成，真空度為3×103~1×10×1Pa。初級泵多采用機械泵，主泵為羅茨泵或油增壓泵。
高真空：真空度為1×10−1~1×10−7Pa，通常由3級真空泵構成。主泵為機械泵，前級泵為機械增壓泵（羅茨泵）或油增壓泵。
根據不同的實驗要求，不同的工件處理工藝，真空爐的真空度要求不同：
1、真空淬火熱處理可選用中空真空爐（一般極限真空度為4X10-1Pa)，采用機械泵和羅茨泵結構。例如真空熱處理軸承鋼，模具鋼，結構鋼等。
2.高溫合金、鈦合金、磁性材料、真空釬焊等需要高真空度的真空爐（一般要求真空爐的極限真空度為10~4Pa）
3.對于真空燒結，或真空燒結需要通電保護氣氛，一般情況下10Pa的低真空度即可。
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